qy·球友会(中国)

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数据通信VCSEL晶圆测试

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qy·球友会(中国)光通信VCSEL测试机用于面发射类型VCSEL的Wafer测试,支持芯片的LIV、光谱相关参数的测试,视觉自动识别,全自动完成每一颗芯片的测试;支持常温、高温双温测试,高温测试温度可由用户自定。兼容多种不同尺寸的Wafer,向用户开放测量数据库,用于后续筛分工序。


  • 产品详情
  • 特点
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    • 商品名称: 数据通信VCSEL晶圆测试
    • 型号: PSS WT-8502
    • 描述: 850nm VCSEL的Wafer测试,支持LIV、光谱相关参数的测试

    qy·球友会(中国)光通信VCSEL测试机用于面发射类型VCSEL的Wafer测试,支持芯片的LIV、光谱相关参数的测试,视觉自动识别,全自动完成每一颗芯片的测试;支持常温、高温双温测试,高温测试温度可由用户自定。兼容多种不同尺寸的Wafer,向用户开放测量数据库,用于后续筛分工序。

    应用

    1、光通信等应用的VCSEL芯片测试;
    2、小功率面发射芯片的验证测试;

     

    特点

    1、集成自制LIV综合测试仪,小电流挡位精度高,支持LIV测试;


    2、积分球同步收光,支持 LIV 测试和光谱测试;


    3、探针臂,针压可调,最小调到1g,压力稳定性在±0.1g以内,探针安装带限位功能;


    4、支持晶圆位置识别和自动调整;
    5、测试载台采用高导热材料,TEC温控,温度范围可支持25~85°C;
    6、支持快速光谱测试;
    7、软件支持精确定位图、坐标数据生成,数据库自动存储数据及图片;

     

    规格

  • 产品特点

    • 集成自制LIV综合测试仪,小电流挡位精度高,支持LIV测试

     


    • 积分球同步收光,支持 LIV 测试和光谱测试

     


    • 探针臂,针压可调,最小调到1g,压力稳定性在±0.1g以内,探针安装带限位功能

     


    • 支持晶圆位置识别和自动调整
    • 测试载台采用高导热材料,TEC温控,温度范围可支持25~85°C
    • 支持快速光谱测试

    • 软件支持精确定位图、坐标数据生成,数据库自动存储数据及图片

     

  • 参 数

    指 标

    适合Wafer尺寸

    2寸、4寸和6寸

    芯片加电方式

    支持同面和异面类型的VCSEL加电

    电流范围

    范围0-500mA

    电流输出和测量精度

    0~20mA:0.1%FS±0.1mA

    0~100mA:0.1%FS±0.1mA

    0~250mA:0.1%FS±0.25mA

    0~500mA:0.1%FS±0.5mA

    电流加电方式

    支持陆续在电流扫描,和脉冲加电:脉宽200us~650ms,周期2ms~6s,同步输出触发信号

    前光功率

    范围0-500mW,精度0.1%FS±50uW

    正向电压

    范围0-5V,精度0.5%±50mV

    波长范围

    800-1700 nm,其他波长支持定制

    测试台温控范围

    25~85℃,稳定性<±1℃

    设备尺寸

    不含信号灯及显示器,1250mm(深)×1100mm(宽)×1750mm(高)

    气源要求

    正压:无

    负压:≦-80KPa

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